預清洗和去膠
硅片切割工藝后，硅片載荷就放入預清洗系統，這是由不同清洗槽的分批結構組成。用噴霧、沖洗和不同的超聲激勵，加上提升溫度的綜合運用，硅片就得到預清洗并從橫梁板上去膠脫落。此工藝結束時，把硅片固定在特殊設計的RENA載片裝置內，就可用于分離了。

硅片分離
硅片在載片裝置內安全地轉運到RENA WaSep中。不需要操作人員觸摸或處理硅片，WaSep能分離硅片，并達到市場上現有系統最高的良率和產額，對更易脆的FASW硅片尤其如此。

硅片分離，同時以平穩的方式全部浸沒在水中并送往后面的下游工藝，這取決于用戶的要求和配置（最后的在線清洗機、用于批次清洗機的片盒裝載器、干燥后用于硅片直接檢測等）。