三菱重工業公開了2007年第二季度開始量產的外形尺寸為1.4m×1.1m的串聯薄膜硅太陽能電池技術（演講編號:3DP.2.4“The Worlds Largest a-Si/mc-Si Tandem Module Production”）。1.4m×1.1m這一尺寸在量產中的串聯薄膜硅太陽能電池中為全球最大。 

    在非結晶硅和微結晶硅重疊的串聯構造的薄膜硅太陽能電池中，膜厚達到2μm以上的微結晶硅成膜速度十分關鍵。三菱重工業為了提高微結晶硅成膜速度，采用了通過施加60MHz頻率來產生等離子的手段。這樣可獲得13.56MHz時的10倍成膜速度。 

    但是，隨著底板的面積的增大，等離子分布不均等課題也隨之產生。為此，三菱重工業開發出了在調制相位的同時施加60MHz頻率的PMM（Phase Modulation Method）技術，從而獲得了在1.4m×1.1m的底板上穩定、高速形成微結晶硅的效果。微結晶硅的成膜速度達到了2.3nm/秒，可在量產線上以3分鐘1枚的頻率制造產品。目前的模塊轉換效率在實現穩定化后可達到9.5％左右。為了實現10.4％的目標，該公司正在繼續改進。 

    三菱重工業在此次的發表中公布了今后的生產計劃。目前，該公司的串聯薄膜硅太陽能電池產能為年產40MW。今后計劃在將這一產能提高至50MW，再加上2007年第二季度開工建設的年產50MW的新工廠，力爭2008年內達到年產100MW。由于非結晶硅太陽能電池的產能也得到了提高，因此該公司的太陽能電池產能屆時將合計達到年產128MW。另外，該公司還計劃建設年產100MW規模的新工廠。不過，要想實現這一目標，還面臨經驗豐富的技術人員不足的問題，需要通過企業收購等多種途經來予以解決。