太陽能電池摻雜專用激光設備
Laser Doping

激光摻雜機

　　本設備將激光技術運用到太陽能硅片表面非接觸式激光加工技術，選擇一種特殊的新型激光器，配合適當光學系統，在硅表面形成一層刻痕，經過清洗之后對刻痕區域進行摻雜，最后用電鍍或絲印的方式在槽內形成電極，以起到前表面電接觸柵極的作用。用這種方法制備的電極度很窄具有很低的表面覆蓋率，而且還具有高的縱深比，能夠更好地吸收載流子，可以提高太陽電池的開路電壓Voc，短路電流Isc和填充因子F.F.，從而提高光一電轉換效率。

應用領域及用途：
晶體硅太陽能電池選擇性擴散（LDSE），激光摻雜機是一款在太陽能電池制作過程中用來作選擇性重摻提高太陽能電池效率的專用激光設備。利用激光將電池片表面磷源作選擇性摻雜形成重摻雜區以降低歐姆接觸，結合前道工序的輕摻雜發射結和后道工序的電鍍或絲印工藝形成柵極以達到提高電池效率和帶負載能力的功效。

設備特征：
兩工位、六工位、12工位全自動平臺
可配備自動化裝卸系統
激光功率自動監測
破片自動檢測，碎片率<2‰
加工速度＞5m/s
擴散深度＞0.6um
適用硅片單晶/多晶 125mm×125mm/156mm×156mm硅片