德國環境部資助的一個新的項目,Fraunhofer材料力學研究所(IWM)正試圖減少硅錠到硅片過程中的切縫損失。
切割是用一條附有研磨液的超細金屬絲進行的,此過程中,會產生約為180微米的缺口,而硅片也為180微米。伴隨著缺口的出現,硅錠在此過程中變成粉塵,因此,會產生近50%的切縫損失。IWM部門經理Rainer Kübler稱:“我們若要降低缺口損失,可將其降到100微米,也不影響工業使用。”
研究人員將重點放在研磨機理上,研究金屬絲、研磨液和硅之間的相互作用。決定性的因素在于超細金屬絲的切縫過程,研磨液的影響及成分,和金屬絲上研磨液的含量。實驗室中,IWM已經成功地將影響切縫損失的缺口減小到90微米。
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