10月10日，中電投黃河水電新能源分公司召開(kāi)《硅烷法多晶硅生產(chǎn)工藝研究》科技項(xiàng)目結(jié)題驗(yàn)收會(huì)。會(huì)議由黃河公司科技信部主持，外部專家、黃河公司財(cái)務(wù)部、審計(jì)與內(nèi)控部、高新產(chǎn)業(yè)部、計(jì)劃與發(fā)展部、新能源分公司生產(chǎn)技術(shù)部、財(cái)務(wù)部、計(jì)劃經(jīng)營(yíng)部相關(guān)人員聽(tīng)取了項(xiàng)目執(zhí)行情況匯報(bào)及工藝研究建議書(shū)匯報(bào)，并就存在的疑問(wèn)與項(xiàng)目組成員作了交流。最后驗(yàn)收專家委員會(huì)一致認(rèn)為：該項(xiàng)目已完成責(zé)任書(shū)規(guī)定的各項(xiàng)研究任務(wù)，經(jīng)費(fèi)使用合理，研究成果及技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了預(yù)期目標(biāo)，同意通過(guò)結(jié)題驗(yàn)收。

硅烷化學(xué)氣相沉積法是一種具有競(jìng)爭(zhēng)力的多晶硅生產(chǎn)方法，其能耗及原料消耗指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。該方法實(shí)現(xiàn)了多晶硅生產(chǎn)工藝閉路循環(huán)，中間物料如四氯化硅、二氯二氫硅可循環(huán)利用，具有轉(zhuǎn)化率高、能耗低、成本低、污染少等優(yōu)點(diǎn)。

2012年7月，新能源分公司根據(jù)黃河公司批復(fù)，承擔(dān)了硅烷法多晶硅生產(chǎn)工藝研究科技項(xiàng)目研究工作。一年來(lái)，新能源分公司按照項(xiàng)目責(zé)任書(shū)內(nèi)容要求，派技術(shù)人員前往德國(guó)德累斯頓進(jìn)行實(shí)地考察，詳細(xì)了解了其工藝技術(shù)，并與德國(guó)施密德硅業(yè)科技公司進(jìn)行了技術(shù)合作洽談，針對(duì)硅烷法的技術(shù)特點(diǎn)，技術(shù)的可行性進(jìn)行了深入地研討。新能源分公司技術(shù)人員通過(guò)對(duì)硅烷制備和硅烷法生產(chǎn)多晶硅的主要技術(shù)的研究并結(jié)合新能源分公司現(xiàn)有多晶硅裝置情況，對(duì)硅烷法的工藝物料、輔助系統(tǒng)、自控儀表、安全、三廢處理、裝置布置、人員配備、項(xiàng)目工期、操作模式和投資效益估算等進(jìn)行了詳細(xì)的研究，最終完成了硅烷法多晶硅生產(chǎn)工藝研究科研項(xiàng)目。