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提高鑄錠單晶的收益 必須注意的幾個問題

   2018-05-14 中光睿華91600
核心提示:準單晶主要面臨兩個問題:位錯和單晶率主要以技術工藝角度來闡述,不涉及設備,希望給同仁們如何降低位錯的得高單晶率帶來一定思
 準單晶主要面臨兩個問題:位錯和單晶率

主要以技術工藝角度來闡述,不涉及設備,希望給同仁們如何降低位錯的得高單晶率帶來一定思考

1、位錯主要來源籽晶隱性裂紋,在長晶過程中會放大。


 
為規避裝料過程的擠壓帶來隱性損傷及裂紋,可以采用雙層籽晶的形式。多加一層可以是多晶的,最下面籽晶層一定是單晶硅,融化過程直接融到引晶層。在這個基礎上長晶就可以了。

2.坩鍋側壁雜質和凹凸不平點形成多晶核,兩種方案來應對。

第一、近坩堝壁側用小籽晶塊的形式,主要是把形成的多晶硅通過長晶位錯的形式檔在外邊。


 
第二,現有的坩堝表面的光潔度不夠,可以建議拋光打磨處理,避免因表面顆粒易造成多晶成核。

3.界面一定要保持凸形,帶來的好處有二

第一:從中心長晶的好處,中心單晶率較高,從中心往四周長基本上會長出單晶來,收益和良率都會得到保證。

第二 減小和規避因側壁或者坩堝壁的凹凸點和小雜質點形成多晶核,導致在多晶基礎上長晶,必然多晶率增加。

4.坩堝形狀

因長方形坩堝原因,坩堝邊極其容易形式多晶。所以使用圓形坩堝是極好的,如果還想提高單晶質量,最好使用圓底或者菱形底坩堝。


 
5.長晶速率及其它參數一定不要參考多晶硅

第一 多晶硅的長晶速率1.5-2.3mm/min范圍內,而單晶硅的長晶速率1-1.3mm/min,很多搞準單晶都是多晶出身,相當然參考多晶硅的速率,有點不靠譜。

第二 單晶硅人員搞準單晶都比鑄錠人員自己搞準單晶經驗更有用一些。

第三 長晶速率慢是極好的

做到以上幾點得率能到60%以上。
 
標簽: 單晶
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