中國(guó)四佳半導(dǎo)體材料公司　莫運(yùn)籌　 國(guó)內(nèi)現(xiàn)行的常規(guī)西門子法生產(chǎn)多晶硅的工藝中, 減少工藝物料消耗的重點(diǎn)部位是在SiHCl3 合成工序中如何提高硅烷中SiHCl3含量和減少氯硅烷氣的冷凝損失; 在氯硅烷的氫還原工序中如何減少還原尾氣中硅烷的深冷回收損失和如何提高還原綜合回收率的問題。這樣可再挖掘潛力, 使目前國(guó)內(nèi)最好水平的硅粉和液氯消耗再減少20% —25% , 氫氣消耗有望達(dá)到12Nm 3ökg。