劉建軍 (北京有色冶金設計研究總院, 北京　100038)

[ 摘　要]　本文介紹了回收氫氣凈化的基本原理、工藝流程, 及用回收氫氣生產多晶硅的實踐結果, 分析了半導體多晶硅生產中, 利用活性炭凈化從還原爐尾氣中回收的氫氣。