《當代多晶硅生產(chǎn)工藝技術(shù)概論》

第一章 前言
第二章 現(xiàn)代多晶硅工廠的基本構(gòu)成
第三章 原材料制備系統(tǒng)
第四章 三氯氫硅合成系統(tǒng)
第五章 三氯氫硅提純系統(tǒng)
第六章 氫還原單元
第七章 還原尾氣回收系統(tǒng)
第八章 四氯化硅氫化單元
第九章 氫化尾氣回收系統(tǒng)
第十章 熱氧化技術(shù)回收廢棄氯硅烷
第十一章 多晶硅后處理單元
第十二章 安全及環(huán)境保護系統(tǒng)
第十三章 工藝支持系統(tǒng)
第十四章 公用工程
第十五章 輔助系統(tǒng)
第十六章 附錄
第十七章 參考文獻